由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的微小元器件和電路對(duì)靜電極為敏感，靜電的產(chǎn)生和積累可能對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響，甚至導(dǎo)致生產(chǎn)線的停產(chǎn)和設(shè)備的損壞。因此，建設(shè)半導(dǎo)體無塵車間時(shí)，必須對(duì)防靜電提出嚴(yán)格的要求和標(biāo)準(zhǔn)。